女研究员李佳琪一边细心听讲,一边快速记笔记,时不时发出感叹。
“许组长讲得好清楚呀,我受教啦!”
“曝光系统如此复杂,能达到这样的精确控制真是太难得了。”李佳琪由衷地赞叹道。
吴静眉头紧皱,她悄悄走到许一秋身后,轻轻拉了拉他的衣袖,想引起他的注意。
许一秋看了一眼吴静,微微一笑,沉稳地说对他们说道:“这只是基础,未来的研发还会更加困难和复杂,你们要学的还有很多。”
在新的测试仪器调试好后,许一秋进行了一次完整的曝光实验。
他先用计算机编辑了测试用的图案,然后通过精确控制光源强度和快门时间,在感光板上印出了清晰的图案,整个过程令在场的年轻研究员们都目瞪口呆。
“太厉害了!许组长的操作技艺真是炉火纯青。”李佳琪忍不住称赞道。
许一秋谦虚地笑了笑,说:“这个只是基础实验,接下来我们要研发出更精密的曝光系统,才能使光刻机的成像达到级纳米量级的精度。”
“许组长,光刻机的曝光系统中,快门技术的调控模式有哪几种?”李佳琪好奇问道。
“主要有机械快门、液晶快门和电控快门三种。”许一秋解释道。
“那其中的差异是什么呢?”李佳琪继续问,脸上充满了亲昵。
吴静撅了撅鼻子,她不甘心地偷偷捏了捏许一秋的手,还踮起脚尖要看他的说明图纸。
“给我康康。”
吴静挡在两个人中间,还故意吵吵嚷嚷问些一些问题。
“一秋,我有个问题啊!曝光系统中的光强度分布是怎么计算和控制的呀?”
许一秋看了吴静一眼,继续说:“光强度分布是根据光刻机的曝光模型......”
正当李佳琪又想继续问些什么时,吴静又插话,“刚才你说的快门技术,机械快门靠的是什么原理实现的?”