对于光刻胶的发展,目前可以分为四个阶段,KTFR光刻胶、g线/i线光刻胶、KrF光刻胶以及ArF光刻胶。
ArF光刻胶是世界最新的光刻胶技术,它继承了KrF光刻胶的基础,也属于化学放大光刻胶。
半导体工艺开发联IMEC正式将ArF光刻胶用作两千年下一代半导体0.13μm工艺的抗蚀剂。
只是相对于世界前沿的光刻胶技术,华夏的光刻胶发展简直称得上可怜。
华夏光刻胶的研究始于六七十年代,六七年的时候,华夏KPR型负性光刻胶就已经投产。
七零年,103B型、106型两种负胶投产,环化橡胶系负胶BN-302、BN-303也相继开发成功。
当时华夏的技术虽然比不上美国,但与日本研究时间相同,技术水平也相差无几。
只是之后因为种种原因,差距越来越大。
第275节
现在产品已经发展到ArF光刻胶阶段,而国内还在KTFR光刻胶阶段,后续研究一直停滞,相差三代。
这不仅仅是因为资金不够的原因,更大程度是因为电子行业与军事紧密相关,国外技术封锁,很难交流。
现在电子工业发展迅速,而华夏芯片的劣势也越来越明显,就靠着一些企业自己研究发展,进展缓慢,所以,政府想要重启光刻胶的研究。
江小溪听到这里,作为重生的人自然知道光刻机,一直到2020年,华夏的高端芯片依旧受制于人,而半导体工业中,下游设计已经迎头赶上,处于世界第一梯队,而上游设备和材料领域却依旧落后。
以光刻胶为例,国外g线/i线光刻胶七十年代投产,KrF光刻胶八十年代投产,现在ArF光刻胶两千年投产。
可是华夏呢,2020年的时候,光刻胶企业仅有北京科华微电子的KrF光刻胶可以量产供应,与国外有着将近四十年的差距。
好在现在研发虽然不是最优的时候,但是也不晚,两千年只是一个开始,现在着手还来得及。