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第5章 来兴趣了

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作为一名从事相关专业的博士生,张明杰也清楚,其实国内对DUV光刻机的研究,也算比较深了。

各种设计图,不说全套,但差不多他也都见过。

即便EUV技术,虽然有阿斯麦的技术限制,但国内其实也大致摸清了一些参数的。

当然,摸清是一回事。

要制造出来,量产商用,那又是另外一回事。

更何况还是大致摸清?

且不提这中间存在大量需要攻克的技术难题,光是西方的专利壁垒就明显很难绕过。

这个问题相当的棘手。

光是张明杰知道的。

所里好几个大牛的项目组,都在研究绕过专利的方法。

只可惜那么长时间过去了,也没听到有什么消息。

而现在摆在眼前的这张设计图。

却让他来兴趣了。

单单从图纸上面标明的各项参数来看。

明显和阿斯麦的EUV不太一样。

但身为作风严谨的科研工作者,张明杰不会因为一张图纸就认为对方手握EUV光刻技术。

说不定这是改款的DUV呢?

而且纯从常理来看,光刻机作为当下的大热门项目,那么多专家教授都在努力研究,各种技术路线几乎都被探讨过。

怎么可能突然冒出来一条新设计?

新思路?

想想也知道不可能。

张明杰觉得,要么是许一秋被其他人给骗了,以为那真的是全新的EUV设计图,要么他纯粹就是以光刻机为噱头进行炒作。

嗯!

大概率是在炒作博取名气。

“只可惜他忽悠得了外行人,忽悠不了内行啊。”

张明杰摇摇头,放下筷子就准备反驳。

然而,这时候许一秋又拿出了一张全新的设计图,钉在黑板上,开始讲解起来。

看到这张设计图后。

张明杰的目光逐渐凝住了。

“不对,这是实验参数?”

“还有进一步的理论分析?”