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第6章 天才般的思路设计

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会议室里的三十多号教授,院士等相关专业的专家全部被屏幕上的设计图惊的目瞪口呆。

甚至还有人直接从座位上站了起来,浑身颤栗。

“这!”

“这明显是和阿麦斯不同的EUV光刻机制造思路啊!”

“这人居然使用了光子学零件检测与控制实现了更加精确的定位!”

“完全取代了阿麦斯的波片叠加系统?”

一群专家紧紧地盯着投影仪上的设计图思路,老脸上布满了震惊和不可思议。

“太妙了,太妙了!”

“研发这么多年了,我们怎么就没有想到利用这种方式攻克呢!”

一群老家伙们激动的老脸通红,一个个敲桌子拍大腿。

没有外人能够体会到他们现在的心情有多澎湃。

一个项目研发了多年,迟迟没有得到进展。

此刻,一张清晰易懂的设计图摆在了他们的面前。

这种感觉就像是醍醐灌顶,豁然清醒!

无疑是见证了技术攻克的历史性一刻。

值得所有人去兴奋和呐喊。

“你们再看看这一张图纸。”

项目研究组长徐鸿远拿出遥控器,又在屏幕上面调出了另外一张设计图纸。

那是一张光刻机的投影镜系统,上面包括6-8面高精度的非球面镜片,借助多次反射将掩模上的图案缩小投影到了晶圆上,每个镜片的位置精度整整达到了3nm级别。

看到这震撼的一幕。

在场所有的专家教授再次炸锅了。

“居然采用了机械动态调整,在每个镜面的表面形状和位置控制在了3nm量级!”

会议室里,不知是谁倒吸了一口冷气。

一时间,房间中陷入了短暂的沉默。

就连内阁大佬李副总也是神情剧烈变换,像是看到了什么不可思议的画面一样。

“天才。”

“这绝对是天才般的思路和设计!”