会议室里的三十多号教授,院士等相关专业的专家全部被屏幕上的设计图惊的目瞪口呆。
甚至还有人直接从座位上站了起来,浑身颤栗。
“这!”
“这明显是和阿麦斯不同的EUV光刻机制造思路啊!”
“这人居然使用了光子学零件检测与控制实现了更加精确的定位!”
“完全取代了阿麦斯的波片叠加系统?”
一群专家紧紧地盯着投影仪上的设计图思路,老脸上布满了震惊和不可思议。
“太妙了,太妙了!”
“研发这么多年了,我们怎么就没有想到利用这种方式攻克呢!”
一群老家伙们激动的老脸通红,一个个敲桌子拍大腿。
没有外人能够体会到他们现在的心情有多澎湃。
一个项目研发了多年,迟迟没有得到进展。
此刻,一张清晰易懂的设计图摆在了他们的面前。
这种感觉就像是醍醐灌顶,豁然清醒!
无疑是见证了技术攻克的历史性一刻。
值得所有人去兴奋和呐喊。
“你们再看看这一张图纸。”
项目研究组长徐鸿远拿出遥控器,又在屏幕上面调出了另外一张设计图纸。
那是一张光刻机的投影镜系统,上面包括6-8面高精度的非球面镜片,借助多次反射将掩模上的图案缩小投影到了晶圆上,每个镜片的位置精度整整达到了3nm级别。
看到这震撼的一幕。
在场所有的专家教授再次炸锅了。
“居然采用了机械动态调整,在每个镜面的表面形状和位置控制在了3nm量级!”
会议室里,不知是谁倒吸了一口冷气。
一时间,房间中陷入了短暂的沉默。
就连内阁大佬李副总也是神情剧烈变换,像是看到了什么不可思议的画面一样。
“天才。”
“这绝对是天才般的思路和设计!”