1.早期恐怖片：电影发明—20世纪20年代
恐怖电影的历史与电影本身的历史一样古老。电影史上第一部恐怖片同样出自电影先驱乔治·梅里爱之手。他在1896年以一贯的丰富想象力率先在银幕上构筑出一个恐怖的世界，以《闹鬼城》（Le Chateau hanté）开了恐怖片的先河。
在20世纪初叶，德国拍摄出大量表现主义的恐怖电影。由斯特拉·瑞耶导演的《布拉格的大学生》（1913），被视为精神分裂症恐怖电影的典范。斯特拉·瑞耶参与了最早的重要恐怖影片《泥人》（1914）及《泥人出世记》（1917）的导演工作，并在其中扮演一个由魔法赋予其生命力的雕像的角色。一般认为德国的表现主义影片《卡里加里博士的小屋》（Das Cabinet des Dr.Caligari，1920）是第一部科幻恐怖片。该片讲述一个精神病院院长模仿18世纪意大利一个名叫卡里加里的魔术师的催眠术实验，通过控制一个名叫凯撒的梦游人进行杀人的离奇而又近乎荒诞的故事。影片在剧作上具有深刻的意味，敏锐地捕捉到第一次世界大战后在德国社会中普遍存在的对某种权威力量的恐惧心理。
在德国表现主义的恐怖电影中，还有一部杰作就是由弗雷德里希·威廉·茂瑙所拍摄的第一部吸血鬼电影《吸血鬼》（Dracula，1922）。该片改编自布拉姆·斯托克的《德古拉》，后来所有的吸血鬼形象，都以它为原型。德国导演保罗·莱尼拍摄的《蜡像馆》（1924），描述一个蜡像具有生命，并且成为杀人凶手的故事。保罗·莱尼拍摄完这部电影后，远赴好莱坞发展，并推出了两部电影《录像带谋杀案》（1927）及《嘻笑的人》（1928）。这时好莱坞正开始其恐怖电影热潮。
除德国这股表现主义恐怖片潮流外，默片时期的恐怖片还包括《弗兰肯斯坦》（Frankenstein，美，1910）、《女巫》（1922）、《木乃伊》（The Mummy，1927）、《午夜后伦敦》（London After Midnight，1927）等。