先秦至唐五代的单音节语气词大都是从他类词语法化而来，其来源又可以分为六小类。
（一）指代词→语气词：者、焉、尔
这三个语气词都形成于先秦。语气词“者”源于自指代词“者”。如：
（1）此二君者，异于子干。（《左传·昭公十三年》）——自指代词
（2）故臣曰：“亡国之廷无人焉。廷无人者，非朝廷之衰也，家务相益，不务厚国。”（《韩非子·有度》）——提顿语气词，兼有话题标记功能
自指代词“者”常处于话题性成分“VP者”或“NP者”中，整个句法框架为“话题——说明（评述）”。“者”位于小句末，随着指代性减弱，加上在韵律上能使句子语气舒缓，从而演变为表停顿的语气词，同时兼有话题标记的功能；魏晋时还衍生出假设语气。
语气词“尔”源于表复指的代词“尔”。如：
（3）诛白公，定楚国，如反手尔，仁义功名善于后世。（《荀子·非相》）——指代词
（4）得天下助卒，名为十万，其实不过数万尔。（《尉缭子·制谈》）——提示义语气词
“尔”表提示语气，有些学者认为“尔”相当于“耳”表限制语气，其实限制语气大多是句子的句式义或句中语气副词的语气义，而非“尔”的语气义。
语气词“焉”源于表处所的代词“焉”。如：
（5）及庄公即位，为之请制。公曰：“制，岩邑也，虢叔死焉，佗邑唯命。”（《左传·隐公元年》）——指代词
（6）（季隗）对曰：“我二十五年矣，又如是而嫁，则就木焉。请待子。”（《左传·僖公二十三年》）——提示、确认义语气词
指代词“焉”指代的处所等往往在前文已经出现，比如例（5）“虢叔死焉”就是“虢叔死在那里（制）”，加之“VP焉”结构本身带有一定的提示意味，因而语义逐渐虚化，同时主观提示功能得以凸显而成为表提示、确认的语气词。