（一）短语的词汇化
如“云尔”“不成”“罢了”“也无”“就是”等，本来并非词，而是在汉语的历史长河中逐渐凝固成词并具有语气功能的。下面略举“云尔”“不成”加以说明。
述宾短语“云尔”的“云”本是言说义动词，“尔”是代词，复指前面所说话语内容，并常与“曰”形成框式结构“曰……云尔”；春秋末“尔”衍生出语气词的用法，同时“云”也逐渐虚化，“云尔”的述宾关系开始松动；汉代时重新融合成为一个表总括和提示的语气词。如：
（37）子曰：“女奚不曰，‘其为人也，发愤忘食，乐以忘忧，不知老之将至’云尔。”（《论语·述而》）——述宾短语
（38）春秋之元，诗之关雎，礼之冠婚，易之干巛，皆慎始敬终云尔。（《大戴礼记·保傅第四十八》）——复合语气词
“不成”最初是一个否定性短语“不＋成”，经历了偏正短语演变为反洁副词再到语气词这样两个阶段。其在句中语法位置、结构关系的改变引起词义虚化，而词义的虚化又导致词汇语法位置和结构关系的改变。“不成”的虚化表现为由行域向知域渐变，即由客观向主观投射。[15]如：
（39）子曰:“君子成人之美，不成人之恶。”（《论语·颜渊》）——偏正短语
（40）不成杀人者亦止令出金而免！（《朱子语类》卷七十八）——反诘副词
（41）岂有既出家后，师主不受十戒，恐其毁坏大戒不成？（《南海寄归内法传》卷三）——强调、反诘义语气词
（二）跨层结构的词汇化
如“也者”“而已”“似的”“的话”等。跨层结构指两个成分之间没有语义上的联系，也不在同一个语法单位，只是线性序列紧邻。随着语义虚化，同时主观性增强，两个成分融合为一个语法单位，具有了句法、语义和语用功能。下面略举“而已”“的话”加以说明。