语义与语音总是相对应，这属于无标记的对称现象，而语法化经常伴随着语音弱化。形态丰富的语言如英语、德语等附着词、屈折词缀的产生就正是语音弱化造成的，汉语中语法化引起的语音弱化也不乏其例。江蓝生利用一些方言资料对这个问题做了很好的说明，她说：“一个成分在结构中变得越来越不重要时，它就会不断虚化，发展到极端就会变成一个零形式，从结构中消失。”[17]她同时指出语法化造成的语音弱化表现常是声调弱化、元音央化和声母脱落等。
遗憾的是汉语传统记音手段存在不足，语气词即使语音弱化，外在表现还是一个个汉字，因而对语气词的语音弱化进行分析存在一定困难。比如现代汉语中的语气词一般读轻声，古代、近代汉语中是否如此就不得而知了。不过一些语气词因语音弱化造成与原有语气词分离，产生了新的语气词。
（一）合音
合音是一种典型的语音变化（弱化），复合语气词在使用过程中，因为声母或韵母的弱化、脱落，两个音节之间的界限逐渐消失而融合。最早的合音语气词是先秦的“耳”，为“而已”的合音，表限制语气。如：
（48）人生天地之间，若白驹之过隙，忽然而已。（《庄子·知北游》）
（49）其母曰：“人尽夫也，父一而已，胡可比也？”（《左传·桓公十五年》）
（50）天子、诸侯所亲者，唯长子、母弟耳。（《谷梁传·襄公三十年》）
自先秦以来，“耳”与“而已”就在同时使用，甚至是同一文献中。如：
（51）寡人非能好先王之乐也，直好世俗之乐耳。（《孟子·梁惠王下》）
（52）学问之道无他，求其放心而已矣。（《孟子·告子上》）
但是，后来“而已”的语气义并无变化，直到现代汉语中都是如此；而“耳”却逐渐衍生出强调语气。如：