先秦至唐五代语气词衍生主要有三种途径：① 词汇的语法化；② 短语和跨层结构的词汇化；③ 音变衍生。这三种途径又以语法化和词汇化为主，基本特征为：① 语义虚化，词类地位下降，同时主观性逐渐增强；② 从语义、句法功能为主过渡到以语用功能为主；在句法结构中的地位逐渐下降，很多时候可有可无；③ 从最初作用于词、短语层面提升到句子（小句）层面，成为语气标记。
语气词的衍生受以下三个方面的影响和制约：语义；句法结构和语境；语气词系统。这三个因素的合力形成一定的演变模式，从而促使某些演变在汉语史上反复发生，如平行演变、语义沾染等。
[1] 瞿霭堂：《论汉藏语的虚词》，《民族语文》1995年第6期。
[2] 宋金兰：《汉藏语是非问句语法形式的历史演变》，《民族语文》1995年第1期。
[3] 张定京：《现代哈萨克语虚词研究》，北京，民族出版社，2005，第188～253页。
[4] 汉语史上有过几次大的语言接触，如汉代以来的佛经传入、南北朝时期北方少数民族语言与汉语的接触、元代以来的阿尔泰语系语言的传入、明清以来西学东渐印欧语系对汉语的影响等。这些对汉语的发展演变或多或少产生了一定的影响。但是对语气词衍生的影响有多大呢？从已有的资料来看应该说很小，现在还没有具体发现哪个语气词是因为语言接触、渗透而衍生的。比如“似的”，以前曾有人认为源于蒙古语的“也似”，江蓝生（1992）经过研究，指出并非如此，而是来源于土生土长的“是的”。如：
（1）若是饶了这个**妇，自除非饶了蝎子娘是的。（《金瓶梅词话》12回）
但是语言接触对语气词的发展演变有一定推动作用，表现在使用的扩展、衍生出新的用法等。比如佛经的传入对汉语的口语化推动极大，促使口语中的语气词繁衍、扩展，进而对旧有的文言语气词进行新旧替代。再如元代的蒙古语对汉语特别是北方汉语的渗透，在语气词上留下了一些明显的痕迹，祖生利《元代白话碑文中助词的特殊用法》（《中国语文》2002年第5期）对“呵”等语气词的分析表明，“呵”本是一个停顿语气词，用于句中或小句末停顿处；因为汉语经常用“呵”来对译蒙古语的假定式副动词，这样“呵”大量使用作假设语气词，并逐渐取代已有的假设语气词“时”和“後”。比较下面两例［例（2）转引自江蓝生］: